昆山市威瑞斯真空设备有限公司
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普旭真空泵维修 真空泵分类:
按其工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型。
气体输送泵:使气体不断的吸入和排出,以达到抽气目的。
气体捕集泵:使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小容器内的气体分子数目,达到抽气目的。
一、气体捕集泵有以下几种型式:
1、吸附泵主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气。
2、吸气剂泵利用吸气剂以化学结合方式捕获气体。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。
3、吸气剂离子泵使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式:
(1)蒸发离子泵:吸气材料以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁,吸附泵内被电离的气体,以实现抽气。
(2)溅射离子泵:吸气材料由阴极连续溅射散出来,吸附泵内被电离的气体,以实现抽气。
4、低温泵
利用低温表面捕集气体的真空泵。
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